Технологии МЭМС и НЭМС

Предприятие оснащено технологической линейкой оборудования по производству пленочных и кремниевых чувствительных элементов МЭМС и НЭМС. Освоены технологические процессы двухстороннего совмещения и экспонирования, ионного травления пленок проводников и диэлектриков, «сухого» и «мокрого» окисления кремния, плазмохимического травления кремния, диффузионной и анодной сварки.
Обрабатываемые материалы:
Кремний, сапфир, боросиликатные и борофтолатные стекла.